一、成果信息

成果名称

微纳加工技术在各类传感器件中的应用

成果介绍

综合利用磁控溅射、电子束溅射以及紫外曝光、离子束刻蚀、反应离子束刻蚀、聚焦离子束刻蚀等先进的微加工技术制作各种传感器、MENS器件、纳米材料等，不仅具有新产品开发、研制能力，同时具有中试和小批量生产能力。

技术指标和

市场前景

可以实现多层金属、绝缘体以及氧化物的纳米和亚微米量级的薄膜制备，紫外曝光最小线宽可达2-3微米，多层对准的套刻技术。

转化方式

技术转让或技术作价入股

技术领域

新材料及其应用

预估价格

（万元）

面议

先进性

/

二、权属信息

成果所有权人

安徽大学

联系人

王磊

联系方式

0551-63861873/63861881

   三、交易机构信息

机构名称

安徽联合技术产权交易所

联系人

管工

联系方式

0551-65909081/65909080

地址

安徽创新馆3号馆1层

信息发布网址

www.ahtre.com