泛半导体附属设备之尾气处理系统及设备
发布时间：2019-04-18 阅读次数：
项目简介：
半导体制造过程是利用多种反应方法来进行半导体的制作，例如化学沉积、电化学沉积、离子注入或光刻等方法，而在这些方法中会添加多种反应物，例如二氯硅烷、三氯氢硅、磷化氢、砷化氢、氢或二氧化硅，使半导体制造过程所排放的废气中含有这些反应物，而这些反应物对环境会造成污染，废气在排放到外界前，需将废气中含有的上述反应物等清除，所以我们研发了半导体的尾气处理系统，利用高温燃烧的方式将半导体工厂所产生的待处理废气分解成五毒以及无危险的废气与粉末，并申请知识产权进行保护。
国际半导体产业协会(SEMI)公布，2月北美半导体设备制造商出货金额达19.7亿美元，年增率逾六成，并创下近16年新高纪录，显示半导体产业景气持续热络。SEMI公布，2月北美半导体设备制造商出货金额较1月的18.6亿美元增加6.1%，更较去年同期的12亿美元大增63.8%，也是2001年4月以来新高。SEMI指出，记忆体及晶圆代工厂持续投资3D储存型快闪记忆体(NAND Flash)及1x奈米先进技术，是带动半导体设备出货金额持续攀升的主要动力。SEMI今年1月起终止发布每月北美半导体设备订单出货报告，改为仅公布每月出货报告，今年2月出货金额攀高。在另外20个晶圆厂项目中，半导体公司正在跟踪多达16个潜在的300毫米晶圆厂的建设，或在整个预测期间开始扩大，投资目标是内存和铸造行业。从2017年起，领先的铸造厂将占各自300毫米晶圆厂的大部分晶圆设备开支。新一轮投资将有助于中国到2020年的支出。
我们从国外带来的经验预计可以为国内晶圆生产设备厂带来以下多项优势如接轨国际领先晶圆生产设备的品管及生产经验；快速从原型量产；大量的横纵向整合让客户享受成本优势，为抓住机遇已投资安徽凯乾自动化设备有限公司，公司租赁中软信息服务有限公司位于芜湖市弋江区高新技术产业开发区珩琅山路17 号中软芜湖产业园3#楼的1~3 层作为生产办公场地，购置数控车床、立式加工中心等专业生产设备，设备采用国产较先进设备；生产过程各环节的工艺参数多按设定的程序自动控制建设气控模组及整机协力制造项目，具有较好的社会效益和经济效益。
预期目标和技术指标：
融资需求（万元）：
项目先进性：国际领先
项目所属领域：先进制造
成果及专利情况：201620816471.4 一种废气处理系统
201620816554.3 一种腔体清洁装置
201620819861.7 一种废气处理系统
201520887667.8 一种高效率组装的流体控制装置
201520886831.3 用于半导体工艺的流体控制装置
合作方式：
成果归属：宝虹(新加坡)私人有限公司
持有人姓名：田志伟
国家（地区）：马来西亚
联系人：邢现强 18196551346 645085067@qq.com