解决一种支撑GaN/Micro-LED显示技术突破的大尺寸图形化蓝宝石衬底制备技术
发布时间：2019-04-18 阅读次数：
需求内容：
项目需要解决以下内容：
（1）高精度 6 英寸衬底相关工装夹具的设计；
（2）提升 6 英寸衬底平坦度指标的加工工艺优化；
（3）超洁净 6 英寸蓝宝石衬底清洗技术；
（4）超高速旋转涂胶技术；
（5）高效 6 英寸衬底纳米压印技术；
（6）电感耦合等离子体干法刻蚀技术。
预期目标和技术指标：
本项目预期达到的具体技术指标如下：
（1）直径：150±0.2mm；
（2）厚度：1300±20μm；
（3）总体厚度偏差：≤10μm；
（4）局部厚度偏差：≤2.5μm；
（5）图形底宽：500±100nm；
（6）图形高度：350±100nm；（7）底宽均一性：＜3%；
（8）高度均一性：＜3%。
拟投入资金（万元）：300.00
项目拟融资金额（万元）：10000.00
合作方式：合作开发
需求单位：黄山博蓝特半导体科技有限公司
单位简介：
黄山博蓝特半导体科技有限公司成立于2016年7月，位于黄山市屯溪区九龙工业园翠薇北路66号，注册资金为10000万元，是一家由浙江博蓝特半导体科技股份有限公司投资的全资子公司，总投资5.5亿元。
企业情况：
黄山博蓝特公司承担的“年产500万片4-6英寸PSS基AlN薄膜蓝宝石衬底项目”，可用于照明、显示、微波器件等领域、具有广泛的市场前景。
主要产品：
主要产品4-6英寸图形化蓝宝石衬底，可用于照明、显示、微波器件等领域、具有广泛的市场前景。
企业规模：50-250人其中博士2 人，研究生0 人，本科23 人
国家高企：否
证书编号：000000
技术领域：隶属于环保及新材料领域。
行业分类：LED（半导体）
需求有效期：2018-2020
技术需求对接情况：正在对接
联系人：江虹 19955933511 jh@bst-group.cn
单位地址：黄山九龙低碳经济园区翠薇北路66号
所在市县区：安徽省黄山市屯溪区
所在孵化器、众创空间名称：_