高性能脉冲压缩光栅和合束光栅研发及应用
发布时间：2019-04-18 阅读次数：
成果：
研制了一系列国内首台(套)具有自主知识产权的米量级光栅研制工艺关键设备。主要有: 米量级反应离子束刻蚀机、等离子体灰化机、兆声清洗机、显影系统、弯月面涂胶机、大口径全息光栅曝光系统等。
技术指标和市场前景：
光栅尺寸在国际上居于领先地位，超过了国际上的竞争对手法国J-Y公司和美国的PGL公司。最大达到了1400mm，远超对手的940mm。研制的采样光栅已全面用于我国的强激光装置；
高校院所：中国科学技术大学
成果归属：中国科学技术大学
所处阶段：中试
技术领域：新一代信息技术
行业分类：先进制造与自动化
先进性：国际领先
拥有专利情况：先进制造工艺与装备
获奖情况：部分阶段性成果于2017年获得军队科技进步一等奖。
融资需求（万元）：5000.00
需求有效期：1年
合作方式：技术入股
联系人：中科大技术转移中心 郑燕13721025282 zhengyan@ustciat.cn
单位地址：
所在市县区：安徽省合肥市包河区
所在孵化器、众创空间名称：
单位简介：
主要产品：