新型石墨基高能粒子束降能器设计与制备技术
发布时间：2019-04-18 阅读次数：
成果：
该结构由石墨基体和均匀涂覆在石墨上的致密化合物半导体涂层组成，放气率测试表明，复合材料降能器放气率比传统石墨降能器低三个量级，同时，复合材料石墨材料的降能器结构稳定，满足高能粒子辐照条件下，粒子束降能的要求。
应用领域：
1、针对高能粒子束（质子束）降能；
2、高端真空装备。
技术指标和市场前景：
目前复合材料石墨降能器已能实现批量生产，材料性能、质量及其稳定性能满足各类高能粒子降能、超高真空半导体加工设备精密配件（如MOCVD、MBE）等应用领域的要求，性价比优于进口材料。
高校院所：中国科学院合肥物质科学研究院
成果归属：中国科学院合肥物质科学研究院
所处阶段：其他
技术领域：新材料
行业分类：新材料
先进性：
拥有专利情况：有
获奖情况：暂无
融资需求（万元）：0.00
需求有效期：1年
合作方式：其他
联系人：胡小晔 0551-65591402
单位地址：
所在市县区：安徽省合肥市蜀山区
所在孵化器、众创空间名称：中国科学院合肥物质科学研究院
单位简介：
主要产品：