高性能射频MEMS谐振器、振荡器和滤波器
发布时间：2019-04-18 阅读次数：
成果：
半导体所在国内首次实现具有高频、高Q的MEMS圆盘谐振器件，高稳定性MEMS振荡器和电路系统，研发了中心频率及带宽可调的多耦合超窄带滤波器。开发了高可靠性硅基集成微纳加工技术，与CMOS工艺兼容可直接转移代工厂，实现高成品率的批量生产。半导体所拥有高频率、高Q值MEMS谐振器件的设计、加工、封装、测试等整套技术，将在国内首次实现高性能MEMS谐振器件的产业化，打破国外公司的技术垄断。
技术指标和市场前景：
作为频率参考源的MEMS振荡器，正以120%的年增长率，逐渐取代石英晶体振荡器。全球每年生产的频率参考源器件数以百亿计。目前，MEMS的振荡器产品已经广泛应用于消费电子领域，如智能手机、数码相机等。
高校院所：中国科学院半导体研究所
成果归属：中国科学院半导体研究所
所处阶段：其他
技术领域：先进制造
行业分类：先进制造
先进性：国内领先
拥有专利情况：有
获奖情况：暂无
融资需求（万元）：2000.00
需求有效期：1年
合作方式：其他
联系人：杨晋玲 010-82304700
单位地址：
所在市县区：安徽省合肥市蜀山区
所在孵化器、众创空间名称：中国科学院合肥物质科学研究院
单位简介：
主要产品：